Магазин
Металлизация ультрабольших интегральных схем
Цена:412 р. Купить

Металлизация ультрабольших интегральных схем

Год выпуска: 2009

Издательство: Бином. Лаборатория знаний

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.

Интернет магазин MultiRing.ru гарантирует нашим покупателям мгновенную доставку цифрового товара после предоплаты и отсутствие вирусов.

Цена: 412 руб.

Купить